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Patent Status

특허보유현황

No 권리 출원일 출원번호 발명의 명칭 등록번호 상태
1 특허 1998-03-09 1998-03-09 프리믹서 특0249472 등록
2 특허 2001-06-04 2001-0031054 기판 이송 장치용 기판 감지 장치 특0743466 등록
3 특허 2003-12-26 2003-0097470 과산화수소 플라즈마 멸균시스템 특0458112 등록
4 특허 2005-08-22 2005-0076660 대면적 기판 이송장치 특0672964 등록
5 특허 2006-12-26 2006-0133842 매거진 잠금장치 및 이를 이용한 매거진 처리장비 특0871108 등록
6 특허 2008-08-04 2008-0075934 건식 기판 세정장치 특0966903 등록
7 특허 2008-12-30 2008-0136479 기판용 건식 초음파 세정장치 특1040706 등록
8 특허 2009-03-30 2009-0026892 유무기 복합 세정장치 특1016418 등록
9 특허 2009-09-22 2009-0089400 상압플라즈마 시스템의 캐리어가스 회수장치 특1127238 등록
10 특허 2013-09-25 2013-0114009 반도체 제조공정에 사용되는 이중배관 특1350349 등록
11 특허 2013-07-17 2013-0083916 벽체 관통 설치 배관용 클램프 특1449950 등록
12 특허 2013-04-24 2013-0045269 액체 이송배관용 누수검지부재 특1391762 등록
13 실용 2010-08-23 2010-0008729 로터리 조인트 실0462850 등록